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月別アーカイブ: 2011年4月

真空ナノインプリント装置 EVN-5150について

真空チャンバ内で定圧インプリントが行える機構(特許出願中)を搭載した研究開発向けの本格的UV式ナノインプリント装置です。


2011.04.01 静電式ノズルヘッド搭載パターニング/塗布装置について (PDF:988KB)

Q-jetノズルヘッド全シリーズを搭載可能なパターニング/塗布装置です。
難塗布材料の塗布実験や小規模生産に最適な小型精密ステージを搭載したオールインワンパッケージシステムです。