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ツインエアー方式 高精細ディスペンサー

R-jet
Twin Pneumatic High-definition Liquid Dispensing System with Top & Side View Optics
  • 線幅50µm以下、ドット径50µm以下の塗布を行ないたい
  • 今までよりも精度良く塗布したい
  • ドットとラインを同時に塗布したい
  • ハンダペースト、Agペースト、接着剤等、塗布材料を選びません

製品ラインナップ

ディスペンスユニット(ライトウェイト)

ディスペンスユニット(ベーシック)
  • ヘッド部を小型軽量化(400g)
  • サイドビューも小型化し、搭載して観察できます

ディスペンスユニット(ベーシック)

ディスペンスユニット(ベーシック)
  • 小型で量産用途に最適
  • 温度調節(35℃~60℃)が可能(オプションとなります)

ディスペンスユニット(マルチファンクション)

ディスペンスユニット(マルチファンクション)
  • 吐出している真上からリアルタイムに観察・検査できます
  • ヘッドにレーザー変位計を組込んでワークまでの距離を観察可能

塗布・描画システム

LWX3000-V, VA
  • アライメント機能を搭載しワークやノズルのズレを補正して塗布できます
  • レーザー変位計を搭載し、高さの補正を行ないます
  • 動作範囲300mm×300mm

塗布・描画システム(高精度タイプ)

RDX500-V, 1000-V
  • 研究開発用途に最適
  • 動作範囲 100mm×100mm(500は50mm×50mm)
  • ステージサイズ150mm×150mm
  • 多孔質吸着ステージ付
RDX2000-VH, 3000-VH
  • R&Dから試作・量産・高精度まで対応
  • 動作範囲 300mm×300mm(2000は200mm×200mm)
  • ステージサイズ 300mm×300mmまで対応

静電方式

Q-jet
  • 線幅10µm以下の塗布
  • 高粘度材料の塗布

製品ラインナップ

ナノメートルオーダーのパターン転写装置