開発事例8：小型熱式ナノインプリント装置 EHN-3250
開発事例の概要
- 熱式ナノインプリントによるデバイス製造の検討試験に最適な入門機です。
- MEMS（マイクロマシン）プロセスの実験に幅広くお使いいただけます。
- 貼り合わせ（接合、接着、ラミネート）等の実験に
- 平坦化、封止（パッケージング、モールディング）等の実験に
- ナノインプリント装置開発のパイオニアが贈る脅威のコストパフォーマンス機第２弾です。
お客様の課題
小型熱式ナノインプリント装置 ＥＨＮ３２５０
- 高いプレス力での実験が可能です（6000N 最大）。
- □６インチワークに対応します（150mmx150mm 最大）。
- オリジナルヒータユニットにより最大250℃の加熱プレスが可能です。
（昇温性能 常温→250℃ 6分以内 面内温度均一性 Δ2度以内） - ＰＩＤ方式により高精度の温度制御を実現しています。
（制御精度 ±1℃ オーバーシュート 2%以内） - エアシリンダによる定圧プレスを行います。プレス時の高さ調節は不要です。
- プレス部の平行度調整機構つきです（分解能 約1μm）。
- デスクトップサイズのコンパクト設計です
（w500mmxD440mmxH680mm 突起部を除く）。
開発事例8：小型熱式ナノインプリント装置
