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開発事例6:小型UV式ナノインプリント装置 EUN-4200

開発事例の概要

  • UVナノインプリントによるデバイス製造の検討試験に最適な入門機です。
  • MEMS(マイクロマシン)プロセスの実験に幅広くお使いいただけます。
  • 貼り合わせ(接合、接着、ラミネート)等の実験に
  • 平坦化、封止(パッケージング、モールディング)等の実験に
  • ナノインプリント装置開発のパイオニアが贈る脅威のコストパフォーマンス機です。

    ご好評いただきました発売キャンペーンにつきましては終了いたしました。

お客様の課題

写真:小型UVナノインプリント装置

小型UV式ナノインプリント装置 EUN4200

  • □4インチワークに対応します(100mmx100mm 最大)。
  • 高輝度UV-LED光源による安定した照射が行えます
    (有効照射エリア50mmx50mm λ=375nm±5nm 2.57mW/cm^2)。
  • エアシリンダによる定圧プレスを行います。プレス時の高さ調節は不要です。
  • プレス部の平行度調整機構つきです(分解能 約1μm)。
  • 装置重量 約15kg。デスクトップサイズのコンパクト設計です(W222mmxD222mmxH436mm)。

開発事例6:小型UV式ナノインプリント装置

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