開発事例1：インラインLCD基板シール形状検査装置｜製品特徴

概要

断面形状を測定

シール剤の塗布状態・必要条件は時々刻々変化します。この変化を捉えるためには、画像認識等による2次元測定だけでは充分ではありません。
ELIS-S1200は、シール塗布状態・塗装条件も最も端的に示す要素であるシール剤の断面形状を直接測定し、塗布プロセスに対する有効なフィードバックを提供します。

高速

従来のスキャニング測定系では、1箇所あたり秒オーダーの測定時間が必要でした。ELIS-S1200は、スキャニングに代わって形状測定を行うマルチ感度プロファイルセンサを搭載し、飛躍的な測定時間の短縮を実現。
1箇所あたり約200ｍsec（最短）の高速測定で、高スループットが要求されるインライン検査に対応します。

高精度

ELIS-S1200の機械系は、高精度・高剛性のX・Y（ガントリー型）／Z・θステージによって構成され、高い測定再現性を提供します。
又、装置基準面には石材ベースを使用しているため、経時変化や温度差による精度変化が少なく、安定した測定結果を得ることが出来ます。

インライン対応

ELIS-S1200はインライン稼動に対応するため、予め設定された検査データに基づいて基盤の搬入→アライメント→測定→検査判定→搬入…といった一連の処理を連続的に行うことが出来ます。
又、上下流流動情報の通信・上位サーバに対する結果出力等、多様化するインラインネットワーク環境に対してフレキシブルに対応します。

製品特徴

シール形状・位置/導電ペースト面積・位置を測定
ガントリー型高精度XYステージとマルチ感度シールプロファイルセンサ及びCCDカメラによって構成され、高い測定再現性を提供。
インラインに対応する柔軟性と拡張性
1,000mm×1,200mm基板対応可能
1基板あたり最大130ヶ所の測定点に対応
インラインの連続測定運転が可能
1測定点あたり200～600ｍsecの高速測定
最大10,000件の測定結果ロギング
最大1,000件の測定波形ロギング
測定波形ログを使用して測定シュミレーション・検査データ設定を行うオフラインアプリケーション機能
Ethernet接続による上位サーバへのマウント機能