開発事例1：インラインLCD基板シール形状検査装置｜製品仕様
ELIS-1200
| 形式 | ELIS-1200 | |||
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| ※1）サンプルを用いた当社評価結果による値であり、対象ワークにより精度は異なります。
※2）対象ワーク毎のセッティングにより異なる場合があります。 |
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| 対応ワーク | サイズ | 730mm×920mm（1,000mm×1,200mm対応機製作可能） | ||
| 装置構成 | シール計測機 | オムロン シールプロファイルセンサZ5FP | ||
| 導電ペースト計測器 | CCDカメラ及びLED落射照明 | |||
| XYステージ | ガントリー型サーボステージ/リニアスケール付き（平均速度240mm/sec） | |||
| Zステージ | 直動型サーボステージ | |||
| 測定性能 | 測定性能 | 測定範囲 | 分解能 | 繰り返し精度（σ）※1 |
| シール幅 | 50～400μｍ | 1,5μｍ | 2,5μｍ | |
| シール高さ | 10～50μｍ | 0,2μｍ | 0,5μｍ | |
| シール断面積 | 幅・高さ範囲に依存 | 幅・高さ分解能に依存 | － | |
| シール塗布位置 | 基板内全範囲 | 1,0μｍ | 2,4μｍ | |
| 導電ペースト面積 | φ500μｍ以下 | 3,5μ㎡ | 0,51＠全面積 | |
| 導電ペースト塗布位置 | 基板内全範囲 | 1,0μｍ | 1,6μｍ | |
| 測定点数 及び判定 |
測定点数 | 最大130点/基板 | ||
| 合否判定 | 上下限/過去ｎ件に対するσ・平均 | |||
| 測定時間 （XYステージ走行時間は含みません） |
シール | 1測定点あたり200～600msec以下 ※2 | ||
| 導電ペースト | 1測定点あたり100ｍｓecｓ以下 | |||
| その他 | ロギング機能 | 測定結果 最大10,000件/シール測定波形 最大1,000件 | ||
| オフラインアプリケーション | 測定データの作成/波形ログを使用した測定シュミレーション | |||
| 上位サーバ結果出力 | 100BASE-T I/F 標準搭載 NetBIOSによりマウント/形式他打ち合わせ | |||
| 上下流流動情報通信 | I/F・プロトコル他 打ち合わせ | |||
| 塗布機フィードバック | ご指定形式により塗布機に対してフィードバック出力可能（打ち合わせ） | |||
| 装置全般 | 外形寸法 | W2200mm×D1800mm×H2150mm（クリーンフィルタ上面迄/シグナルタワー含まず） | ||
| 重量 | 約4,800ｋｇ | |||
| ユーティリティ | 電源 AC200V ３相 20A 圧空源 0,41MPa以上 真空源 -0,05MPa以下 |
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開発事例1：インラインLCD基板シール形状検査装置
