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静電分注において、塗布対象基板とノズル先端間のギャップを適切に設定する事は、良好な塗布特性を得るための重要な要素です。また、特に多数本のノズルが平面配置されたマルチノズルシステムにおいては、ノズルと基板の関係が対向する平面間の関係になるため、測定と手動による平行度調整は、極めて困難な作業でした。
本機はマルチノズル基準面と、対象基板又は積載テーブル間のギャップを測定するレベルセンサを３軸搭載。傾斜２軸＋Ｚ軸の、高精度ウェッジ駆動式３軸ステージとの組み合わせにより、平行度・ギャップの同時自動調整を実現しました。もはや、面倒なギャップ測定・調整作業は必要ありません。
微細な構造を持つ静電分注用ノズルには、破損や汚染がつきものです。更にマルチノズルシステムにおいては、"外周のみ厚塗布をしたい"、"特定のノズルだけ口径を変えたい"といった、配置場所によってノズル特性を変えたいケースもあります。
本機搭載のマルチノズルでは、個々のノズルを単部品化してノズルピースとして搭載。任意のノズルを自由に交換・組み替えが可能です。また、SUS304とフッ素ゴム系シールの組み合わせにより、極めて高い耐久性を提供します。
本機の持つ各種機能は、RS-232C インターフェースによって、外部から任意に制御が可能です。コマンドの送信とレスポンスの受信による手続きのみで動作しますので、パソコンなどの他装置制御用のＰＬＣからも簡単に制御が可能です。
"手持ちの実験機に搭載して試してみたい"、"既存の設備を改造して搭載したい" など、自由にご利用頂けます。
※専用ソフトウェアの開発も承りますので、弊社営業窓口までお気軽に「お問い合わせ」下さい。
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諸元表
| ノズルヘッド部 諸元 |
|||
|---|---|---|---|
| 制御軸 | 駆動方式 | ウェッジスライド × 3軸 | |
| Roll/Pitch軸 | ストローク | ±2° | |
| 分解能 | 0.00021° | ||
| 位置決め精度 | 0.01200° | ||
| Z軸 | ストローク | ±2.5mm | |
| 分解能 | 0.29μm | ||
| 位置決め精度 | 2.50μm | ||
| レベルセンサ | 測定方式 | 3点接触式 | |
| 測定範囲 | ±5mm | ||
| 分解能 | 0.1μm | ||
| 精度 | 1.0μm | ||
| 測定力 | 0.4N | ||
| ノズル | 先端径 | 70～200μm | |
| 本数 | 55本 | ||
| 配置間隔 | 4.8mm (千鳥配置) | ||
| 内部配線 | Au膜 | ||
| 給電方法 | SHVコネクタ | ||
| 最大印加電圧 | 4.5kV (D.C.) | ||
| 使用環境 | 温度 | 10～35℃ | |
| 湿度 | 80%RH以下（結露無きこと） | ||
| 雰囲気 | 腐食性ガス・可燃性ガス・塵埃無きこと | ||
| その他 | 外形寸法 | W250×H310×D292 (mm) | |
| 質量 | 17.5kg | ||
| クリーンエア | 0.2MPa以上 | ||
| コントローラ部 諸元 (高圧電源は含んでおりません。) |
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|---|---|---|---|
| 外部 インターフェース | RS-232C Dsub 9P / オス 19.2kbps / キャラクタ長 8bit / パリティ無し |
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| 外形寸法 | W260×H199×D350 (mm) | ||
| 質量 | 3.5kg | ||
| 電源 | AC100～240V 2A以内 | ||
外形図
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