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装置の基本はメカ、そしてメカを生かすコントロールです。本機は、弊社が開発・販売を行ってきた、精密パターニング塗布装置・３Ｄプロファイラの技術を生かした高精度ステージ・制御系に、弊社開発の静電マルチノズルヘッドをドッキング。高い位置精度・低速度リップルといったベーシックな高性能に加え、オプションのレーザ式アクティブギャップコントロールや、塗布パターン画像測定機能など、多彩な機能で塗布プロセスを強力にバックアップします。
塗布プロセスにおいて、塗布動作を行う軌跡・経路データは、材料条件などと併せて重要なノウハウです。当然、様々なパターンで評価を行うことになりますが、以下のような悩みは無いでしょうか？
"専用ソフトが使いにくい・使い慣れたCADで描けないか？"、"製品ＣＡＤデータと軌跡データが別々で、条件出しや製造移行の管理が面倒"
本機は標準でＤＸＦデータのインポートに対応。更に必要なパーツ名のみを、軌跡データとして使用することが可能なため、製品図面上で軌跡情報を一括管理できます。
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塗布装置に限らず各種プロセス装置というものは、なかなか設定が面倒なものです。
"ここの設定レシピはＡ、圧力設定はｘｘにして、〜"、更には、"しまった、あそこの設定を変えるのを忘れた"、etc...、というご経験をお持ちの方も多いと思います。本機は装置動作やノズルヘッドの設定まで含めて、全てをワンパッケージ化。
"やりたいことをシンプルに出来るようにする" 、という現場の声にお応えします。
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諸元表
| 塗布装置 機械諸元 | ||
|---|---|---|
| 構成 |
フルクローズド制御 3軸ステージ (XY平面 + Z軸) |
|
| 送り機構 | 精密ボールネジ + ACサーボモータ |
|
| フィードバック機構 | アブソリュートリニアエンコーダ |
|
| 最大移動速度 | 全軸共通 | 250mm/sec. |
| 移動分解能 | 全軸共通 | 0.1μm |
| 有効ストローク | X軸 | 307mm |
| Y軸 | 307mm | |
| Z軸 | 100mm | |
| 繰り返し位置決め精度 | X軸 | ±0.5μm |
| Y軸 | ±0.5μm | |
| Z軸 | ±0.5μm | |
| 位置決め精度 | X軸 | 5μm (有効ストローク全域において) |
| Y軸 | 5μm (有効ストローク全域において) | |
| Z軸 | 5μm (有効ストローク全域において) | |
| 上下真直度 | X軸 | 4μm (有効ストローク全域において) |
| Y軸 | 4μm (有効ストローク全域において) | |
| Z軸 | 3μm (有効ストローク全域において) | |
| 左右真直度 | X軸 | 4μm (有効ストローク全域において) |
| Y軸 | 4μm (有効ストローク全域において) | |
| Z軸 | 3μm (有効ストローク全域において) | |
| ワークテーブルサイズ | 320 × 320mm | |
| 最大積載質量 | 15kg | |
| ワーク固定方式 | 多孔真空吸着 | |
| 使用環境 | 温度 | 10～35℃ |
| 湿度 | 80%RH以下 (結露無きこと) | |
| 雰囲気 | 腐食性ガス・可燃性ガス・塵埃無きこと | |
| その他 | 外形寸法 | W 830mm×H 1560mm×D 1045mm (タッチパネル含まず) |
| 質量 | 1180kg | |
| 電源 クリーンエア |
AC200V 3相 20A以内 0.45MPa以上 |
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外形図
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