開発事例3：ナノインプリント装置｜製品仕様（EHE）
装置特徴
EHEシリーズは、当社がお客様のニーズに合わせて製作する、オーダーメイド用のベースモデルです。本モデルの基本仕様にないカスタマイズをご要望のお客様は、こちらのページをご覧ください。
- 熱式ナノインプリントの実験を手軽に出来る装置です。金型と材料のアライメント機構が付いています。
| 項目 | 内容 | 備考 |
|---|---|---|
| 装置全般 | ||
| 外寸 | W1,500mm×D800mm×H1,990mm | 卓上型のため、参考サイズです |
| 重量 | 500kg以内 | |
| クリーン仕様 | クラス10000以上 | |
| ユーティリティ | 電源：AC200V 20A | |
| クリーンドライエアー：0.5Mpa以上(工場圧空) | ||
| 真空：15Ｐａ程度(ロータリーポンプ) | ||
| ワークサイズ | ||
| 試料 | □50mm | |
| 金型 | φ50mm以内 | |
| 金型サイズ | □70mm | |
| プレス部 | ||
| プレス押し力 | 10kN最大 | 加圧力を設定可能 |
| プレス上下 | スイッチパネルで操作 | 速度を設定可能 |
| 温度調節 | 上下の金型に温度センサー 加熱Ｍａｘ： 250℃(EHE010-250)/ 1400℃(EHE010-1400) 冷却：強制冷却（コールドエアー吹き付け） 冷却ステージ（オプション） |
昇温速度 100℃→250℃/約5分以内 降温速度 200℃→100℃/約20分程度 （EHE010-250:大気中） |
| 真空チャンバー | 自在伸縮型チャンバー | 250℃耐熱構造 (EHE010-250) 1400℃耐熱構造 (EHE010-1400) |
| アライメント機構(オプション) | ||
| 観察方法 | 上下２視野鏡筒 | ＣＣＤカメラによるモニター表示 |
| 精度 | ±１０μｍ以内（目視） | アライメントマークを手動位置合わせ |
| アライメント テーブル |
ロケータ方式（Ｘ，Ｙ，Θ駆動） | |
| その他 | ||
| 超音波加振システム（オプション） | ||
| 両面転写対応（オプション） | ||
| インプリント面超微小平行度調整機構（オプション） | ||
開発事例3：ナノインプリント装置
