開発事例3：ナノインプリント装置｜製品仕様（VX）

ＶＸシリーズ　装置基本仕様（参考）

分類 項目 公表値
装置基本性能 押しつけ力 50kN（許容成形圧力5MPa）
金型最高温度 250℃
金型温度面内均一性 5℃以内（150℃において）
材料加熱最高温度 250℃
金型サイズ 最大□100
材料サイズ 最大Φ100または□100
冷却機構 水冷
制御システム 制御方式 圧力制御（圧力一定）
変位制御（変位一定）
速度制御（成形速度）
時間制御（成形時間）
押し付け性能 荷重センサ非直線性 ±0.4%　F.S.O
荷重センサヒステリシス 0.25%　F.S.O
荷重測定分解能 0.3N
表示最小単位 1N
最大ストローク 100mm（標準）
温度制御性能 表示最小単位 0.1℃
実用制御単位 0.1℃
昇温安定化時間（金型基板） 45秒以下（140℃→180℃）
降温安定化時間（金型基板） 90秒以下（180℃→140℃）
ヘッド位置決め性能 表示最小単位 0.1μm
制御分解能 39nm
制御可能単位 0.1μm
金型ステージ 金型保持方法 真空吸着
平面度 1μm以内
材料との平行度 手動調整機構
安全性 非常停止 非常停止スイッチ
エリアセンサ 押しつけ部エリアセンサ
材料ステージ 平面度 1μm以内
材料保持方法 真空吸着
供給搬出方法 手動
時間制御 圧力 可（圧力一定にて）
変位 可（変位一定にて）
外部制御 装置周辺機器 冷却ユニット
状態監視 制御項目 荷重
温度
変位
時間
監視項目 エアー元圧
真空元圧
エリアセンサ（安全）
その他 使用環境 23±1℃を推奨

開発事例3：ナノインプリント装置

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