エンジニアリング・システム株式会社　あなたの課題解決研究所

超高速型高密度基板検査装置

製品概要

積層ベアボード内外回路のオープン,ショートを超高速に電気チェックします。高度なアライメント技術及び信頼性の高い一括プロービングにより、高密度・微細化の進むプラスチック・セラミックなどの基板検査ニーズに対応する高精度検査システムです。
・高精度両面アライメント・一括プロービング方式の高信頼機です。
・装置繰り返し精度において、抜群の高精度をもっています。ワークとプローブピンのZ軸位置合わせが、自動検出できます。小片ワークのタクトタイムは2,5秒/個の超高速検査ができます。
・品種データの登録、読み込みが簡単にできます。
・プローブユニットの脱着が簡単です。
・初期位置決めがモニター上で簡単にできます。

仕様

ＦＭＴ600
ワーク	外形	MAX □60mm
精度	アライメント	±3μm
精度	総合繰り返し精度	±10μm
タクト	2.5秒（検査時間を含む）
プローブ方式	方式	垂直式スプリングプローブ
	対応ピッチ	Min150μm
	接触圧	5.1g/ピン（300μmストローク）
機械サイズ	寸法	1340D×930W×1860H
機械サイズ	重量	約500kg
ユーティリティ	電源	AC100V/20A AC200V/10A
	空圧	0.4Mpa以上
	真空	-450mmHg以下
オプション	片面基板対応/多連取り基板対応/ローダ・アンローダ/テスター

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