ガラスパネルの搬送を貴社工場ラインに合わせ、さまざまなバリエーションでの装置提供が可能です。
・ガラスパネルの向きが装置間で同方向となる。
・ガラスパネルを通過させる通路スペースのみで搬送可能。
・ガラスパネルを回転させないため、従来型ロボットに比してタクト短縮が可能。
・搬送が一方向のみのため、ガラスパネルに余分なストレスをかけない。
| 大判パネル搬送用スルーコンベアロボット | ||
|---|---|---|
| ワークサイズ 処理可能基板外形 |
196×259mm~1,300×800mm | |
| 使用環境 | クリーンルーム対応 | |
| 電源 | 単相AC200V 50/60Hz | |
| 最大定格電流 10A | ||
| 外部圧空源 | クリーンドライエアー0.49Mpa(5.0Kgf/c㎡)以上 | |
| 外部真空源 | -550mmHg以下(工場供給) | |
| 安全機構 | 非常停止スイッチ、エリアセンサ(必要箇所に設置) | |