エンジニアリング・システム株式会社　あなたの課題解決研究所

ウェハベーキング・UV照射装置

製品概要

・本装置はウェハ加熱用ホットプレート３台と照射ユニットを用いたウェハベーキング・UV照射装置です。
・供給キャリアからウェハを1枚づつ取りだし、熱処理後に紫外線照射を行い収納キャリアに搬送します。
・処理時間の大きいベーク部を3ステージ持つことにより、カセットあたりの処理時間を大きく低減します。
・均一なベーク部の面内温度分布とUV照射光量の実現により、安定した製品製造が行えます。

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