エンジニアリング・システム株式会社　あなたの課題解決研究所

ウェハキズ欠陥検査装置

製品概要

・本装置は、ウェハ上のキズ、打痕欠陥検出装置です。ウェハ上のごみはキャンセルするため、純粋な擦りきず、割れを発見できます。
・8インチウェハのキズ、打痕5μm以上を120秒/枚で高速検出します。
・ウェハ上に動作部がないためコンタミの付着がありません。
・キズ打痕の自動計測、座標が表示され、レビューステージにより目視にての検査も可能です。

仕様

EWK010
装置外寸
外寸	W1,500mm×D1,500mm×H1,900mm	突起物を含まず
重量	2,000kg以内
クリーン仕様	クラス100対応
ユーティリティ	電源：AC200V　±10V　20A クリーンドライエアー：0.49Mpa以上（工場圧空）真空：-66kPa（工場圧空）排気：φ50ダクト（一般排気）
処理能力	150sec/枚以下（8")	レビュー時間を除く
対応ウェハ	ガラスウェハ12"（MAX)
処理能力	ガラスウェハ12"（MAX)
検出能力	5μmのキズ、打痕
搬送部
ウェハプリアライメント	オリフラにより矯正
ウェハ保持方法	真空吸着	ウェハ外周から3mm以内
検査部
ウェハアライメント	マークによるX-Y-Θデータ補正	マークがない場合はオリフラ基準
ステージ方式	X-Yステージ	フルクローズド方式
ウェハ固定方式	ウェハ固定方式	ウェハ外周3mm以内
検査カメラ	1型撮像管画像強調カメラ
基本氏や	W14mm×H13mm
照明方式	エッジライト
レビュー顕微鏡部
対物レンズ	×2.5、×10、×20、×50	電動レボルバ式
照明	明視野/暗視野切替式
寸法計測機能	画像計測装置による
ソフトウェア
検査レシピ数	100
差分抽出	キズデータ間の差分（増減）抽出

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