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材料の塗布を行う場合、その塗布位置、塗布量、塗布時における材料の挙動など、塗布が行われている"その瞬間"の観察を行えることが塗布品質向上のための重要なポイントとなります。
本機では特殊な光学系をノズルヘッド機構に組み込むことで、従来インクジェットシステムなどでは不可能であった吐出箇所直上からのノズル同軸観察を可能としました。直接視認することによる精密な吐出位置制御や、吐出後の材料挙動観察など、様々なアプリケーション応用が可能です。
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微細な構造を持つ静電分注用ノズルには、破損や汚染がつき物です。本機では口径の違うノズルを単部品化されたノズルピースとしてご用意しており、任意のノズルを容易に交換することが可能です。
また、材料供給経路をかねたノズルマウントユニット自体が本体から容易に脱着可能な構造となっていますので、ワーク変更の際にも接液部を簡単に洗浄することが可能です。さらに、ノズルマウントユニットを複数ご用意いただくことで、洗浄による材料ロスなく複数材料の試験を行うことが容易に実現できます。
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対物レンズやカメラポート倍率アダプタの交換により、観察対象に応じた様々な倍率での同軸落射観察が可能です。あわせて観察測定用の補助光学ポート追加により、「異なる倍率の複数カメラによる広域・詳細同時観察」や「同軸型レーザー変位計による対象ワークのリアルタイム高さ計測」等を実現できます。
また、付属の平面ミラーを用いてノズル先端を視認することにより、ノズルとステージのギャップ長さおよびノズル先端のカメラ視野内位置について精密に校正することが可能です。
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諸元表
| ノズル部 | 適用ノズル口径 | 10μm / 25μm / 40μm / 70μm / 200μm (*1) | |
|---|---|---|---|
| 搭載ノズル本数 | １本 | ||
| 電荷注入部 | 給電方式 | SHV同軸コネクタ | |
| 絶縁抵抗 | 20GΩ以上(筐体GND-ノズルホルダ間) | ||
| 光学部 | 適用対物レンズ倍率 | 10倍 / 20倍 / 50倍 (*2) | |
| 搭載対物レンズ本数 | 1本 | ||
| 電動フォーカス調整範囲 | 10mm | ||
| 照明方式 | φ14mm ライトガイド導光による同軸落射照明 | ||
| カメラポート形状 | Cマウント | ||
| カメラポート倍率アダプタ | 無し / 0.5倍 / 2倍 | ||
| 対応カメラセンサーサイズ | 1/2インチ以下 | ||
| 一般仕様 | 外形寸法 | W140mm×H261.6mm(23mmノズル込み)×D160.5mm | |
| 質量 | 7.5kg(ヘッド単体/対物レンズ含まず) | ||
(*2) 50倍対物レンズ使用時は、全長が短い専用ノズルが必要となります。
| カメラ部 (オプション) (*3) |
センサーサイズ | 1/2 インチ | |
|---|---|---|---|
| 解像度 | 1392×1040画素 カラー(ベイヤー) | ||
| フレームレート | 30 フレーム/sec. 以上 | ||
| 接続インターフェース | ギガビットイーサネット | ||
| 電源 | DC12V / 専用AC アダプタ | ||
ユニット外形図
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電式顕微鏡型ノズルヘッドQHV50S | 静電マルチノズルヘッド | 高精度塗布装置
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