RHL100C-2 ディスペンスユニット(ライトウェイト)

ヘッド(単体) ヘッド(ヘッド+サイドビュー)
ヘッド(単体) ヘッド(ヘッド+サイドビュー)
バルブユニット(付属品)
RHL100Cバルブ
コントローラ(RS-232通信タイプも選択可能です。)
空圧コントローラー
項目 RHL100C-2ディスペンスユニット
(ライトウェイト)
トップビュー なし
オプション:サイドビュー OP-SVU3-4L-USB
セラミックノズル内径(µm) 25, 40, 70, 100, 150, 200
特注ノズル外径(µm) 25µm未満のみ対応(特注)
コントローラ 付属品
サイドビュー用カメラ 組込み型のUSB出力のカメラ搭載
オプション:レーザー変位計 搭載不可
オプション:Rユニット液剤充填機
別置
使用可能
サイズ(ノズルヘッド) W56.4mm×H133.1mm×D55mm
重量(ノズルヘッド) 0.4kg

RHB100C ディスペンスユニット(ベーシック)

ヘッド(サイドビュー搭載) ヘッド(単体)
ヘッド(サイドビュー搭載) ヘッド(単体)
コントローラ(RS-232通信タイプも選択可能です。)
空圧コントローラー
項目 RHB100Cディスペンスユニット
(ベーシックタイプ)
トップビュー なし
オプション:サイドビュー 搭載可能
セラミックノズル内径(µm) 25, 40, 70, 100, 150, 200
特注ノズル外径(µm) 25µm未満のみ対応(特注)
コントローラ 付属品
サイドビュー用オプション:VGA PoE
白黒カメラ(GigE Vision準拠)
サイドビュー(オプション)
搭載時のみ搭載可能
オプション:レーザー変位計 搭載不可
オプション:Rユニット液剤充填機
別置
使用可能
サイズ(本体 ノズル込み) W84mm×H195mm×D119mm
その他(本体) 1.9kg

RHF100C ディスペンスユニット(マルチファンクション)

ヘッド(サイドビュー搭載) ヘッド(単体)
ヘッド(サイドビュー搭載) ヘッド(単体)
コントローラ(RS-232通信タイプも選択可能です。)
空圧コントローラー
項目 RHF100Cディスペンスユニット
(マルチファンクション)
トップビュー なし
オプション:サイドビュー 搭載可能
セラミックノズル内径(µm) 25, 40, 70, 100, 150, 200
特注ノズル外径(µm) 25µm未満のみ対応(特注)
コントローラ 付属品
トップビュー用オプション:1.3M PoE
カラーカメラ(GigE Vision準拠)
搭載可能
サイドビュー用オプション:VGA PoE
白黒カメラ(GigE Vision準拠)
サイドビュー(オプション)
搭載時のみ搭載可能
オプション:レーザー変位計 搭載可能
オプション:Rユニット液剤充填機
(別置)
使用可能
サイズ(本体 ノズル込み) W177mm×H248mm×D175.5mm
その他(本体) 6.6kg

LWX3000-V, VA(パターニングシステム)

LWX3000-V LWX3000-VA
LWX3000-V LWX3000-VA
コントローラ(RS-232通信タイプも選択可能です。)
空圧コントローラー
項目 LWX3000-V
アライメント機能無し、塗布と観察のみを行なう装置
搭載可能ディスペンスユニット RHL100C-2
設定用PC 付属
ステージサイズ 最大300mm×300mmまで
サイズ W600mm×D595mm×H660mm
ストローク(X-Y-Z) 300mm×320mm×100mm
サイドビュー用カメラ OP-SVU3-4L-USB(付属)
重さ(本体) 50kg以下
トップビューカメラ オフアクシスカメラ(付属)
X-Y-θアライメント機能 なし
高さ補正 なし
項目 LWX3000-VA
アライメント機能追加マシン(アライメント機能有り)
搭載可能ディスペンスユニット RHL100C-2
設定用PC 付属
ステージサイズ 最大300mm×300mmまで
サイズ W670mm×D605mm×H660mm
ストローク(X-Y-Z)  300mm×320mm×100mm
サイドビュー用カメラ OP-SVU3-4L-USB(付属)
重さ(本体) 50kg以下
トップビューカメラ 画像処理機能付オフアクシスカメラ(付属)
X-Y-θアライメント機能 あり
高さ補正 レーザー変位計

RDX500-V, RDX1000-V

RDX500V, RDX1000-V
項目 研究開発用途向 塗布システム
RDX500-V, 1000-V
搭載可能ディスペンスユニット RHB100C、RHF100C
制御用PC 付属
ステージサイズ 150mm×150mm
サイズ(本体) W600mm×D750mm×H850mm
ストローク(X-Y-Z) 50mm×50mm×100mm
(RDX500-V)
100mm×100mm×100mm
(RDX1000-V)

重さ(本体)

100kg以下

RDX2000-VH, 3000-VH

RDX500V, RDX1000-V
項目 試作・量産用 塗布・描画システム
RDX2000-VH, 3000-VH
搭載可能ディスペンスユニット RHF100C
制御用PC 付属
ステージサイズ 最大300mm×300mmまで
サイズ(本体) W850mm×D1100mm×H1600mm
ストローク(X-Y-Z) 200mm×200mm×100mm (RDX2000-VH)
300mm×300mm×100mm (RDX3000-VH)
重さ(本体) 900kg以下

【オプション】 RHL100C‐2用サイドビューユニット

RHL100C用サイドビューユニット
項目 サイドビュー単独
搭載可能ディスペンスユニット RHL100C-2
対物レンズ倍率 4倍
照明方式 赤色LED(付属)
カメラモジュール 内蔵
接続方式 USB
重さ(本体) 0.2kg

【オプション】サイドビューユニット

サイドビューユニット
項目 サイドビュー単独
対物レンズ倍率 4倍
照明方式 白色LED(付属)
カメラポートマウント形式 Cマウント
対応イメージセンササイズ 1/3インチ
重さ(本体) 0.7kg

【オプション】Rユニット液剤充填機

Rユニット液剤充填機
Rユニットへ気泡を混入させずに充填することが可能です
項目 Rユニット液剤充填機
サイズ W258mm×D206mm×H310mm
重さ 12kg
ユーティリティ クリーンドライエア、真空、AC100V

【オプション】レーザー変位計

レーザー変位計無 レーザー変位計有
レーザー変位計無 レーザー変位計有
項目 レーザー変位計
搭載可能ディスペンスユニット RHF100C

分解能 0.01µm
測定範囲 ±1mm

【オプション】RHB100C用温調ユニット

RHB100C用温調ユニット
項目 RHB100C用温調ユニット
搭載可能ディスペンスユニット RHB100C
温度調節範囲 35℃~60℃
ユーティリティ AC100V

Twin-airとは

アプリケーション事例

商品紹介

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