ETSB0101 ディスペンスユニット(ベーシックファンクション)

ヘッド(単体)
ヘッド(単体)
バルブユニット(付属品)
RHL100Cバルブ
コントローラ
空圧コントローラー
項目 ETSB0101ディスペンスユニット
(ベーシックファンクション)
セラミックノズル内径(µm) 25, 40, 70, 100, 150, 200
コントローラ 付属品
サイドビュー(4倍) オプション
トップビュー なし
サイドビュー用カメラ オプション
サイズ(ヘッド) W44,5mm×H100mm×D35mm
重量(ヘッド) 150g

ETSF0101 ディスペンスユニット(フルファンクション)

ヘッド(単体)
ヘッド(単体)
コントローラ
空圧コントローラー
項目 ETSF0101ディスペンスユニット
(フルファンクション)
トップビュー(5倍) 搭載
セラミックノズル内径(µm) 25, 40, 70, 100, 150, 200
コントローラ 付属品
レーザー変位計 オプション
サイドビュー(4倍) オプション
トップビュー用カメラ オプション
サイドビュー用カメラ オプション
サイズ(本体 ノズル込み) W168,5mm×H315mm×D137mm
その他(サイドビュー) 5.0kg

ESAJシリーズ

ESAJ0101 ESAJ1101
LWX3000-V LWX3000-VA
コントローラ
空圧コントローラー
項目 ESAJ0101
アライメント機能無し、塗布と観察のみを行なう装置
搭載可能ディスペンスユニット ETSB0101
設定用PC 付属
ステージサイズ 最大300mm×300mmまで
サイズ W600mm×D595mm×H660mm
ストローク(X-Y-Z) 300mm×320mm×100mm
サイドビュー用カメラ OP-SVU3-4L-USB(付属)
重さ(本体) 50kg以下
トップビューカメラ オフアクシスカメラ(付属)
X-Y-θアライメント機能 なし
高さ補正 なし
項目 ESAJ1101
アライメント機能追加マシン(アライメント機能有り)
搭載可能ディスペンスユニット ETSB0101
設定用PC 付属
ステージサイズ 最大300mm×300mmまで
サイズ W670mm×D605mm×H660mm
ストローク(X-Y-Z)  300mm×320mm×100mm
サイドビュー用カメラ OP-SVU3-4L-USB(付属)
重さ(本体) 50kg以下
トップビューカメラ 画像処理機能付オフアクシスカメラ(付属)
X-Y-θアライメント機能 あり
高さ補正 レーザー変位計

ES05, ES10シリーズ

ES05, ES10シリーズ
項目 R&D用塗布システム
ES05, ES10シリーズ
ディスペンスユニット ETSF0101(フルファンクション)
制御用PC 付属
ステージサイズ 150mm×150mm
サイズ(本体) W600mm×D750mm×H850mm
ストローク(X-Y-Z) 50mm×50mm×100mm
100mm×100mm×100mm
X-Y-Z-Qアライメント機能 あり

重さ(本体)

100kg以下

ES30シリーズ

ES30シリーズ
項目 試作・量産用 塗布・描画システム
搭載可能ディスペンスユニット ETSF0101(フルファンクション)
制御用PC 付属
ステージサイズ 最大300mm×300mmまで
サイズ(本体) W900mm×D1050mm×H1600mm
ストローク(X-Y-Z) 300mm×300mm×100mm (RDX3000-VH)
塗布データインポート機能 あり
重さ(本体) 900kg以下
ローダー、アンローダー オプション あり

【オプション】Rユニット液剤充填機

Rユニット液剤充填機
Rユニットへ気泡を混入させずに充填することが可能です
項目 Rユニット液剤充填機
サイズ W258mm×D206mm×H310mm
重さ 12kg
ユーティリティ クリーンドライエア、真空、AC100V

Twin-airとは

アプリケーション事例

商品紹介

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